産品系列
PRODUCT
準分子激光剝離系統
系統概述
準分子激光剝離系統采用準分子激光作(zuò)為(wèi)光源，經過勻光、整形後獲得(de)極均勻的高(gāo)能量密度線型激光束，适合聚酰亞胺等薄膜從玻璃、藍(lán)寶石等基闆上(shàng)剝離，剝離良率高(gāo)；
準分子激光輸出在紫外波段，樣品吸收深度小(xiǎo)，對柔性基底損傷小(xiǎo)；
準分子剝離系統主要用于柔性顯示、柔性電(diàn)子的生(shēng)産和(hé)研發。
系統特點
- 适合聚酰亞胺等薄膜從玻璃、藍(lán)寶石等基闆上(shàng)剝離
- 線掃描光束，可(kě)實現大(dà)面積樣品均勻剝離
- 采用多(duō)級透鏡整列勻光技(jì)術(shù)，光束均勻性好
- 激光波長可(kě)選擇308nm、248nm
技(jì)術(shù)參數(shù)
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型号 |
LLO-308-100 |
LLO-248-100 |
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激光波長 |
308nm |
248nm |
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激光束尺寸 |
100mm×0.3mm |
100mm×0.4mm |
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最大(dà)激光能量密度 |
300 mJ/cm2 |
200 mJ/cm2 |
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光束均勻度 |
>92% |
>92% |
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掃描步進精度 |
5μm |
5μm |
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重量 |
500Kg |
500Kg |
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冷卻方式 |
Water |
Water |
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外形(L×W×H) |
1600mm×1600mm×1400mm |
1800mm×900mm×1600mm |
