産品系列
PRODUCT
PLD100 準分子激光器(qì)
高(gāo)重複頻率，能量穩定性好
設計(jì)緊湊，體(tǐ)積小(xiǎo)
內(nèi)部觸發/外部觸發
産品特點：
- 高(gāo)重複頻率，能量穩定性好
- 設計(jì)緊湊，體(tǐ)積小(xiǎo)
- 內(nèi)部觸發/外部觸發
應用：激光沉積薄膜 、精細加工 、材料表面處理(lǐ)、激光退火(huǒ)
| 技(jì)術(shù)參數(shù) | |||
| 介質氣體(tǐ) | ArF | KrF | XeCl |
| 波長(nm) | 193 | 248 | 308 |
| 最大(dà)單脈沖能量(mJ) | 100 | 200 | 100 |
| 平均功率(W) | 8 | 18 | 8 |
| 最大(dà)重複頻率(Hz) | 100 | ||
| 脈沖寬度(FWHM, ns) | ～15 | ||
| 能量穩定性（sigma %） | 2 | ||
| 光斑尺寸(mm)(V*H) | 14×5 | ||
| 發散角(mrad)(V*H) | ～3×1 | ||
| 産品尺寸(mm)(L*W*H) | 1015×537×582 | ||
| 重量(kg) | 100 | ||
| 電(diàn)源要求 | 220V, 50Hz, 10A | ||
| 冷卻方式 | 水(shuǐ)冷 | ||
| 交互方式 | 控制(zhì)系統：RS232（液晶屏/PC） | ||
| 外部觸發：電(diàn)信号 | |||
規格
