PLD20、PLD20L、PLD30 準分子激光器(qì)

産品特點：

• 脈沖能量最高(gāo)到800mJ
• 采用磁助器(qì)激勵回路設計(jì)，延長閘流管壽命
• 內(nèi)置能量反饋系統，能量穩定性好
• 內(nèi)部觸發/外部觸發

應用：激光沉積薄膜 、精細加工 、材料表面處理(lǐ)、激光退火(huǒ)

技(jì)術(shù)參數(shù)
介質氣體(tǐ)		ArF	KrF	XeCl	XeF
波長(nm)		193	248	308	351
最大(dà)單脈沖能量(mJ)	PLD30	200	500	300	200
	PLD20	300	650	400	300
	PLD20L	400	800	500	400
平均功率(W)	PLD30	5	14	8	5
	PLD20	5	12	8	5
	PLD20L	7	14	9	7
最大(dà)重複頻率(Hz)	PLD30	30
	PLD20	20
	PLD20L	20
脈沖寬度(FWHM, ns)	PLD30	～25
	PLD20
	PLD20L
光斑尺寸(mm)(V*H)	PLD30	～24×8
	PLD20
	PLD20L
能量穩定性（sigma,% ）	1 （248nm輸出時(shí)測量）
發散角(mrad)(V*H)	~3×1
冷卻方式	水(shuǐ)冷
交互方式	控制(zhì)系統：RS232（液晶屏/PC）
	外部觸發：光信号

 

規格：PLD30/PLD20： 1500×450×880mm  PLD20L： 1600×405×880mm  (230kg）