PLD100 準分子激光器(qì)

産品特點：

• 高(gāo)重複頻率，能量穩定性好
• 設計(jì)緊湊，體(tǐ)積小(xiǎo)
• 內(nèi)部觸發/外部觸發

應用：激光沉積薄膜 、精細加工 、材料表面處理(lǐ)、激光退火(huǒ)

技(jì)術(shù)參數(shù)
介質氣體(tǐ)	ArF	KrF	XeCl
波長(nm)	193	248	308
最大(dà)單脈沖能量(mJ)	100	200	100
平均功率(W)	8	18	8
最大(dà)重複頻率(Hz)	100
脈沖寬度(FWHM, ns)	～15
能量穩定性（sigma %）	2
光斑尺寸(mm)(V*H)	14×5
發散角(mrad)(V*H)	～3×1
産品尺寸(mm)(L*W*H)	1015×537×582
重量(kg)	100
電(diàn)源要求	220V, 50Hz, 10A
冷卻方式	水(shuǐ)冷
交互方式	控制(zhì)系統：RS232（液晶屏/PC）
	外部觸發：電(diàn)信号

 

規格