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準分子激光器(qì)光學元件

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  • 激光諧振腔片:後腔鏡、輸出鏡
  • 聚焦透鏡(球面、柱面)
  • 材料:紫外熔石英、CaF2、MgP2
  • 鍍膜:高(gāo)激光損傷阈值(1. 5J/cm2 @ 10ns)

技(jì)術(shù)參數(shù):

波段(nm)  鍍膜 入射角度(°) 反射率(R%) 透過率(T%)
193nm 高(gāo)反(HR) 0or45 ≥96  
半反(AR) 0or45 30. 50、60etc  
增透(AR) 0or45   ≥98
248nm 高(gāo)反(HR) 0or45 ≥99  
半反(AR) 0or45 30、50、60etc  
增透(AR) 0or45   ≥99
308nm 高(gāo)反(HR) 0or45 ≥99  
半反(HR) 0or45 30、50、60etc  
增透(AR) 0 or45   ≥99

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