産品系列
PRODUCT
準分子激光退火(huǒ)系統
系統概述
準分子激光退火(huǒ)系統采用準分子激光作(zuò)為(wèi)光源，經過勻光、整形後獲得(de)極均勻的高(gāo)能量密度線型激光束，可(kě)實現大(dà)面積樣品均勻掃描；
準分子激光退火(huǒ)系統輸出波長短(duǎn)，光子能量大(dà)，樣品吸收深度小(xiǎo)，主要用于薄膜材料的退火(huǒ)或改性研究，如低(dī)溫多(duō)晶矽薄膜退火(huǒ)、光電(diàn)功能薄膜材料開(kāi)發等。
系統特點
- 線掃描光束，可(kě)實現大(dà)面積樣品均勻處理(lǐ)
- 采用多(duō)級透鏡整列勻光技(jì)術(shù)，光束均勻性好
- 激光波長可(kě)選擇308nm、248nm，351nm、193nm可(kě)定制(zhì)
- 線光束尺寸可(kě)定制(zhì)
技(jì)術(shù)參數(shù)
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型号 |
ELA-308-100 |
ELA-248-100 |
ELA-248-50 |
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激光波長 |
308nm |
248nm |
248nm |
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激光束尺寸 |
100mm×0.3mm |
100mm×0.4mm |
50mm×0.8mm |
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最大(dà)激光能量密度 |
450 mJ/cm2 |
200 mJ/cm2 |
200 mJ/cm2 |
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光束均勻度 |
>92% |
>92% |
>92% |
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掃描步進精度 |
5μm |
5μm |
5μm |
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處理(lǐ)氣氛 |
N2/Air |
N2/Air |
N2/Air |
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重量 |
500Kg |
500Kg |
500Kg |
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冷卻方式 |
Air |
Air |
Air |
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外形(L×W×H) |
1600mm×1600mm×1400mm |
1800mm×900mm×1600mm |
1800mm×900mm×1600mm |
