産品系列
PRODUCT
TITAN系列大(dà)功率準分子激光器(qì)
全固态開(kāi)關，壽命長，能量穩定性好
金屬-陶瓷腔結構，氣體(tǐ)壽命長
産品特點：
- 大(dà)功率/大(dà)能量輸出
- 全固态開(kāi)關，壽命長，能量穩定性好
- 金屬-陶瓷腔結構，氣體(tǐ)壽命長
- 主要用于ELA(激光退火(huǒ))、 LLO（激光剝離）、大(dà)面積薄膜制(zhì)備
應用：低(dī)溫退火(huǒ)、柔性材料剝離 、 薄膜制(zhì)備 、表面處理(lǐ)
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技(jì)術(shù)參數(shù) |
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介質氣體(tǐ) |
ArF |
KrF |
XeCl |
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波長(nm) |
193 |
248 |
308 |
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最大(dà)單脈沖能量(mJ) |
800 |
1500 |
1000 |
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平均功率(W) |
480 |
900 |
600 |
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最大(dà)重複頻率(Hz) |
600 |
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脈沖寬度(FWHM, ns) |
～30 |
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能量穩定性（sigma %） |
2 |
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光斑尺寸(mm)(V*H) |
35×14 |
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發散角(mrad)(V*H) |
5×1.5 |
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産品尺寸(mm)(L*W*H) |
2850×880×2535 |
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重量(kg) |
1600 |
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電(diàn)源要求 |
380V, 50Hz, 80A |
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冷卻方式 |
水(shuǐ)冷 |
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交互方式 |
控制(zhì)系統：RS232（液晶屏/PC） |
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外部觸發：電(diàn)信号或光信号 |
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