産品系列
PRODUCTFBG200 準分子激光器(qì)
高(gāo)重複頻率,能量穩定性好;設計(jì)緊湊,體(tǐ)積小(xiǎo);內(nèi)部觸發/外部觸發
産品特點:
- 高(gāo)重複頻率,能量穩定性好
- 設計(jì)緊湊,體(tǐ)積小(xiǎo)
- 內(nèi)部觸發/外部觸發
應用:光纖光栅刻寫 、精細加工、精細打标 、光譜分析
技(jì)術(shù)參數(shù) | |||
介質氣體(tǐ) | ArF | KrF | XeCl |
波長(nm) | 193 | 248 | 308 |
最大(dà)單脈沖能量(mJ) | 8 | 15 | 10 |
平均功率(W) | 1.2 | 2.4 | 1.6 |
最大(dà)重複頻率(Hz) | 200 | ||
脈沖寬度(FWHM, ns) | ~15 | ||
能量穩定性(sigma %) | 2 | ||
光斑尺寸(mm)(V*H) | 6×3 | ||
發散角(mrad)(V*H) | ~2×1 | ||
産品尺寸(mm)(L*W*H) | 712×300×520 | ||
重量(kg) | 60 | ||
電(diàn)源要求 | 220V, 50Hz, 5A | ||
冷卻方式 | 風冷 | ||
交互方式 | 控制(zhì)系統:RS232(液晶屏/PC) | ||
外部觸發:電(diàn)信号 |
規格