準分子激光剝離系統

系統概述

準分子激光剝離系統采用準分子激光作(zuò)為(wèi)光源，經過勻光、整形後獲得(de)極均勻的高(gāo)能量密度線型激光束，适合聚酰亞胺等薄膜從玻璃、藍(lán)寶石等基闆上(shàng)剝離，剝離良率高(gāo)。準分子激光輸出在紫外波段，樣品吸收深度小(xiǎo)，對柔性基底損傷小(xiǎo)。準分子剝離系統主要用于柔性顯示、柔性電(diàn)子的生(shēng)産和(hé)研發。

系統特點

• 适合聚酰亞胺等薄膜從玻璃、藍(lán)寶石等基闆上(shàng)剝離  
• 線掃描光束，可(kě)實現大(dà)面積樣品均勻剝離
• 采用多(duō)級透鏡整列勻光技(jì)術(shù)，光束均勻性好
• 激光波長可(kě)選擇308nm、248nm

技(jì)術(shù)參數(shù) 

型号	LLO-308-100	LLO-248-100
激光波長	308nm	248nm
激光束尺寸	100mm×0.3mm	100mm×0.4mm
最大(dà)激光能量密度	300 mJ/cm2	200 mJ/cm2
光束均勻度	>92%	>92%
掃描步進精度	5μm	5μm
重量	500Kg	500Kg
冷卻方式	Water	Water
外形(L×W×H)	1600mm×1600mm×1400mm	1800mm×900mm×1600mm