準分子激光退火(huǒ)系統

系統概述

準分子激光退火(huǒ)系統采用準分子激光作(zuò)為(wèi)光源，經過勻光、整形後獲得(de)極均勻的高(gāo)能量密度線型激光束，可(kě)實現大(dà)面積樣品均勻掃描。準分子激光退火(huǒ)系統輸出波長短(duǎn)，光子能量大(dà)，樣品吸收深度小(xiǎo)，主要用于薄膜材料的退火(huǒ)或改性研究，如低(dī)溫多(duō)晶矽薄膜退火(huǒ)、光電(diàn)功能薄膜材料開(kāi)發等。

系統特點

• 線掃描光束，可(kě)實現大(dà)面積樣品均勻處理(lǐ)
• 采用多(duō)級透鏡整列勻光技(jì)術(shù)，光束均勻性好
• 激光波長可(kě)選擇308nm、248nm，351nm、193nm可(kě)定制(zhì)
• 線光束尺寸可(kě)定制(zhì) 

技(jì)術(shù)參數(shù) 

型号	ELA-308-100	ELA-248-100	ELA-248-50
激光波長	308nm	248nm	248nm
激光束尺寸	100mm×0.3mm	100mm×0.4mm	50mm×0.8mm
最大(dà)激光能量密度	450 mJ/cm2	200 mJ/cm2	200 mJ/cm2
光束均勻度	>92%	>92%	>92%
掃描步進精度	5μm	5μm	5μm
處理(lǐ)氣氛	N2/Air	N2/Air	N2/Air
重量	500Kg	500Kg	500Kg
冷卻方式	Air	Air	Air
外形(L×W×H)	1600mm×1600mm×1400mm	1800mm×900mm×1600mm	1800mm×900mm×1600mm