TITAN系列大(dà)功率準分子激光器(qì)

産品特點：

• 大(dà)功率/大(dà)能量輸出
• 全固态開(kāi)關，壽命長，能量穩定性好
• 金屬-陶瓷腔結構，氣體(tǐ)壽命長
• 主要用于ELA(激光退火(huǒ))、 LLO（激光剝離）、大(dà)面積薄膜制(zhì)備

應用：低(dī)溫退火(huǒ)、柔性材料剝離 、 薄膜制(zhì)備 、表面處理(lǐ)

技(jì)術(shù)參數(shù)
介質氣體(tǐ)	ArF	KrF	XeCl
波長(nm)	193	248	308
最大(dà)單脈沖能量(mJ)	800	1500	1000
平均功率(W)	480	900	600
最大(dà)重複頻率(Hz)	600
脈沖寬度(FWHM, ns)	～30
能量穩定性（sigma %）	2
光斑尺寸(mm)(V*H)	35×14
發散角(mrad)(V*H)	5×1.5
産品尺寸(mm)(L*W*H)	2850×880×2535
重量(kg)	1600
電(diàn)源要求	380V, 50Hz, 80A
冷卻方式	水(shuǐ)冷
交互方式	控制(zhì)系統：RS232（液晶屏/PC）
	外部觸發：電(diàn)信号或光信号

 

規格